两人各执一词,争论的声音在车间里回荡,代表了“土法革新”与“依赖引进”两种思路的激烈碰撞。周围的年轻技术员们看着两位核心骨干争吵,脸上都写满了焦虑和迷茫。
光刻机,这座横亘在自主芯片量产之路上的最后,也是最坚固的堡垒,似乎真的成为了无法逾越的天堑。
就在这时,秦念放下了手中的电子显微镜目镜。她刚才一直在观察那片因为光刻错位而导致电路短路的失败样片,【微观结构洞察】的能力让她清晰地“看”到了线条边缘的模糊和重叠区域的惨不忍睹。
她抬起头,目光平静地扫过争执中的两人,声音不大,却瞬间让整个车间安静了下来。
“海洋师傅的志气,文军同志的客观,都没有错。”她先肯定了双方,“等待进口,不现实,也违背我们‘争气’的初衷。但纯粹依靠提升这台老旧设备的机械精度,确实已经触及物理极限。”
她走到那台光刻机前,冰冷的手指轻轻拂过那布满岁月痕迹的金属外壳,仿佛在感受它残存的脉搏。
“硬件不够,”秦念的眼中闪过一丝锐利如手术刀般的光芒,清晰地传入每个人耳中,“计算来补。”
“计算?”李文军和张海洋同时愣住,连争吵都忘了。周围的年轻技术员们也面面相觑,计算?那不就是打算盘、解方程吗?跟这铁疙瘩机器有什么关系?
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“没错,计算。”秦念转身,拿起一支笔,在旁边的白板上快速画了起来,“既然我们无法保证一次曝光就完美对准,为什么不能把一次复杂的图形曝光,分解成多次简单的、精度要求较低的曝光来完成呢?”
她画了一个简单的方块矩阵图案:“比如,这个复杂的互连线路,我们可以把它分解成横向线条和纵向线条两组相对简单的图形。先用掩模版A,只曝光所有横向的线条。然后,移动硅片,更换掩模版B,再曝光所有纵向的线条。”
“可是……这样两次曝光之间的对准误差怎么办?”李文军立刻抓住了关键问题,眉头紧锁,“误差累积起来,可能比一次曝光还要糟糕!”
“这就是计算的用武之地。”秦念在白板上写下几个公式,“我们可以在设计掩模版的时候,就预先考虑到可能存在的、在一定范围内的对准误差。通过数学模型,对第二次需要曝光的图形进行‘预畸变’补偿。”